真空热处理炉是近年来得到较大发展的先进热处理设备，工件是在超低气压的空间里进行加热和冷却的；它具有质量好、节能、安全和污染少等优点。
　　真空热处理炉是实现真空热处理的重要设备。炉内气压低于正常气压。炉内气氛相当于一种气体，可使热处理工作不氧化。真空处理炉的用途很广，主要用于结构钢、不诱钢、耐热合金、精密合金以及材料的真空回火，时效、退火、淬火，也可以用于真空除气，钎焊和烧结等方面。真空热处埋炉使用安全可靠，可买现日动化谋作，没有污染公害等间题。但是设备比较复杂，造价较高。

　　真空热处理炉的特点
　　(1)水冷装置，真空热处理炉的炉壳、炉盖、电热元件导别处置(水冷电极)、中间真空隔热门等部件，均在真空、受热状态下工作。在这种极为不利的条件下工作，必须保证各部件的结构不变形、不损坏，真空密封圈不过热、不烧毁。因此，各部件应该根据不同的情况设置水冷装置，以保证真空热处理炉能够正常运行并有足够的使用寿命。
　　(2)严格的真空密封：众历周知，金属零件进行真空热处理均在密闭的真空炉内进行，因此，获得和维持炉子原定的漏气率，保证真空炉的工作真空度，对确保零件真空热处理的质量有着非常重要的意义。所以真空热处理炉的一个关键题目，就是要有可靠的真空密封结构。为了保证真空炉的真空性能，在真空热处理炉结构设计中必须道循一个基本原则，就是炉体要采用气密焊接，同时在炉体上尽量少开或者不开孔，少采用或者避免采用动密封结构，以尽量减少真空泄漏的机会。安装在真空炉体上的部件、附件等如水冷电极、热电偶导出装置也都必须设计密封结构。
　　(3)采用低电压大电流：在真空容器内，认真空空度为几托一lxlo-1托的范围内时，真空容器内的通电导体在较高的电压下，会产生辉光放电现象。在真空热处理炉内，严重的会产生弧光放电，烧毁电热元件、隔热层等，造成重大事故和损失。因此，真空热处理炉的电热元件的工作电压，一般都不超过80一100伏。同时在电热元件结构设计时要采取有效措施，如尽量避免有尖真个部件，电极间的间距不能太小窄，以防止辉光放电或者弧光放电的发生。
　　(4)自动化程度高：真空热处理炉的自动化程度之所以较高，是由于金属工件的加热、冷却等操纵，需要十几个甚至几十个动作来完成。这些动作内在真空热处理炉内进行，操纵职员无法接近。同时，有些动作如加热保温结束后，金属工件进行淬火工序须六、六个动作并且要在15秒钟以内完成。在这样迅速的条件来完成很多动作，是很轻易造成操纵职员的紧张而构成误操纵。因此，只有较高的目动化才能正确、及时按程序协调动。
　　(5)大部分加热与隔热材料只能在真空状态下使用：真空热处理炉的加热与隔热衬料是在真空与高温下工作的，因而对这些材料提出了耐高温，蒸汽压低，辐射效果好，导热系数小等要求。对抗氧化性能要求不高。所以，真空热处理炉广泛采用了钽、钨、钼和石墨等作加热与隔热构料。这些材料在大气状态下极易氧化，因此，常规热处理炉不能采用这些加热与隔热材料。